??偏壓電源（Bias power supply ）是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件，在鍍膜工藝流程中為工件提供負（或正）偏壓。

作用

1）提高真空等離子體內帶電粒子的能量，轟擊清洗所鍍工件表面，使工件表面經受高能粒子撞擊后得到嶄新的表層，從而提高后續沉積膜層的結合力。

2）提高并控制真空等離子體內帶電粒子的能量，提高膜層與工件基體結合力。

3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則，調整膜層顏色。

4）克服偏壓電源工作于真空等離子體環境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件。

偏壓電源工作于二級高頻變換模式，單極脈沖方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現，調壓電路具有1%的穩率。高頻變換電路產生10-90%脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨立調整，在滿足工藝所需電壓同時，通過改變脈沖寬度來控工件溫升。電源適用于各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。

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